冷藏吸附泵获得极高的真空

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-10-27 0:43:59 * 浏览: 3

当将吸气剂冷冻至低温时，发现其吸气量增加并且吸附气体的粘附系数也增加。与冷冻至相同低温的单个光滑金属表面相比，它具有更好的抽吸效果。这种泵通常称为制冷吸附泵。众所周知，将分子筛冷冻至液氮温度可以用作清洁且无油的背衬真空泵。类似地，假设分子筛冷却至20K以下，则可以有效地从板的冷冻表面去除He，Ne和H2。氢在20K时的吸附概率为1，而在SK中，氦的吸附率也为1。将5A分子筛冷却至4.2K，可以有效地泵送氦气。在10-5Pamdash中，在10-6Pa范围内给出的吸附概率为0.7mdash，即0.91，其吸附概率随分子筛温度的变化而变化，如图16-17所示。